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1）冷凍水：用于潔凈室環(huán)境控制、PCW工藝冷卻水、純水的制備、變電所的散熱；

2）工藝冷卻水（PCW）：工藝設備（不光芯片制造的設備和一些切、磨、拋的設備和附屬設備，基本都是采用PCW工藝冷卻水降溫）；

3）冷卻塔：即一般冷卻水，冷卻塔里的這些冷卻水，主要用于動力設備冷卻，如冷凍站、空壓機等CUB內大型設備的散熱；

                     ▲歐亞雙機頭降膜式水冷螺桿冷水機組，2度出水                   

2.各自的關聯：

冷水機組的作用是通過制冷劑（多見為R134A）這一冷媒循環(huán)來與冷凍水、工藝冷卻水進行熱交換。冷凍水有中溫或低溫冷凍水，PCW則相當于是CUB冷凍系統的一個分支（實際上是“比較高溫的冷凍水”），沒有自己的獨立系統，工藝冷卻水經冷水機組熱交換后降低熱量。

冷卻塔和冷凍水、工藝冷卻水相對獨立，也可稱為“一般冷卻水”，也就是上面提到的用于冷凍站、空壓機等的大型設備的散熱。那么為什么不直接用PCW對冷凍站、空壓機等進行散熱呢？主要是因為PCW采用電力供能，代價較高，同時工藝設備降溫用水水質要求相對亦較高（一般為初級純水）。而對冷凍站、空壓機等進行散熱時，水質要求相對較低，利用冷卻塔散熱，與大氣熱交換，性價比則尤為凸顯。這也是將冷卻塔直接位于CUB屋面之上的原因。

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3.水溫范圍：

（1）冷凍水：溫度通常較低，進水溫度通常在12℃~18℃左右，出水溫度一般在6℃~12℃左右（半導體廠的冷凍水供水溫度一般分低溫（6℃左右）和中溫（12℃左右）兩種，用以滿足不同的設備需求）；

（2）工藝冷卻水：溫度相對較高，一般進水溫度在35~40℃左右，出水溫度30~35℃左右。

（3）冷卻塔冷卻水：一般進水溫度一般在30℃-40℃，出水溫度在25℃-32℃。

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